Оптическая система инспекции поверхности KLA-Tencor Candela CS серии предназначена для детального обследования поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов и позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции. Оборудование подходит для контроля как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).

В системе используется запатентованный анализатор оптической чувствительности, непрерывно измеряющий интенсивность рассеянного света, изменение топографии, коэффициента отражения и фазового сдвига волны для автоматического определения и классификации визуальных образов дефектов в соответствии с используемой библиотекой типовых дефектов.

В основе анализатора оптической чувствительности лежит комбинация таких методик, как скаттерометрия, элипсометрия, рефлектометрия и оптическая профилометрия. Использование комбинации этих методик позволяет контролировать поверхность пластин на предмет технологических загрязнений, поверхностных и подповерхностных дефектов, изменений топографии и неоднородности поверхности тонких пленок. Система Candela CS характеризуется высокой чувствительностью, пропускной способностью и надежностью контроля, что делает ее оптимальной системой инспекции для нужд сложных технологических процессов.

Технические особенности:

• Четыре измерительные методики совмещенные в едином приборе
• Оборудование разработано с учетом промышленных  стандартов на инспекцию поверхности в полупроводниковой отрасли и отрасли производства оптоэлектронных материалов
• Пропускная способность контроля для пластин 2' – 40 шт/час, для платин 8' – 20 шт/час.
• Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов
• Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить выход годных изделий.